多晶硅技术进步显著 产业发展有过热之虞（二）
http://www.cction.com 2009-01-04 14:50 中企顾问网
本文导读：多晶硅技术进步显著 产业发展有过热之虞（二）
中国企业步入世界大厂行列
中硅高科建有两个多晶硅生产厂(偃师工厂、洛阳工厂)和一个省级多晶硅工程技术研发中心。中硅高科产业化发展理念是：安全、环保、长治久安，产量、质量、达产达标，节能、降耗、良好效益，使用、操作、维护方便。
2006年，中硅高科的多晶硅产量为187吨，占全国总产量的65%，2007年，多晶硅产量506吨，占全国总产量的45%，连续两年位居全国首位。预计2008年多晶硅产量1000吨，产量进入世界大厂行列。
目前，中硅高科生产的多晶硅部分产品已达到：P型电阻率3000Ω·cm-4800Ω·cm，N型电阻率300Ω·cm-480Ω·cm，少子寿命300μs-1250μs，质量稳定。
中硅高科多晶硅产业规划分5期建设。一期：年产多晶硅300吨项目，2005年建成，已达产达标，该项目是国家发改委2005年重点行业结构调整支持项目；二期：年产多晶硅700吨项目，2007年建成，已稳定生产，该项目是国家发改委2006年新能源等高技术产业化专项支持项目。以上两个项目多晶硅副产物综合利用生产2000吨/年气相二氧化硅项目正在实施过程中。三期：年产多晶硅2000吨项目，2008年建成，已稳定生产，此项目是国家发改委2007年支持高纯硅材料等高技术产业化专项；四期：年产多晶硅2000吨项目，主体结构工程已封顶，预计2009年建成投产；五期：年产多晶硅2000吨项目将于2010年建成。总规模：合成三氯氢硅1万吨/年，多晶硅8000吨/年，气相二氧化硅4000吨/年，单条生产线达到国际公认经济规模。
中硅高科建立了国内首个多晶硅企业工程技术研究中心，国内首个省级多晶硅工程技术中心，已运行两年。中硅高科现针对多晶硅生产各主要环节建立6个研究平台和1个检测中心，解决了制约多晶硅材料大规模、低单耗、高品质、清洁生产的技术瓶颈，坚持“产学研”结合，培养、凝聚研发人才，形成持续研发能力。检测中心建设采用国际多晶硅检测标准与方法，配备国际先进水平的检测仪器，面向我国多晶硅全行业，服务全行业。
相关链接
自主研发的多晶硅生产技术
中硅高科采用的是“物料内部循环、能量综合利用”工艺，从根本上解决环境污染问题，实现清洁生产。
中硅高科采用“物料闭路循环、能量综合利用”的方法生产多晶硅。中硅高科自主研发技术，包括：大型还原炉、氢化和尾气干法回收技术为核心的产业化集成工艺、成套设备和全自动控制系统。
主要包括如下内容：
1.12对棒节能型多晶硅还原炉技术
单炉产量1400kg，电耗<200kWh/kg，2004年研究成功，已用于300吨/年试验线，全自动控制，已稳定生产。
2.24对棒大型节能多晶硅还原炉
单炉产量4000kg，电耗160kWh/kg，2007年3月鉴定，已用于700吨/年项目，全自控，稳产。
3.大型高效加压还原技术
单炉产量5000kg，电耗100kWh/kg～120kWh/kg，加压操作，全自动控制。设备已安装在三期工程中，正在运行考核。
4.大型低温加压SiCl4氢化技术转化副产物SiCl4，处理能力5000kg/h以上，在运行考核中。
5.大型SiHCl3合成、提纯工艺合成设备单套能力5000吨以上、产物加压分离、尾气干法回收；SiHCl3提纯采用大型加压、高温、高效提纯塔，满足电子级高纯硅用原料，在运行考核中。
6.大型全自控还原尾气干法回收技术
尾气处理能力7200m3/h以上，各组分回收率达到98%以上，已稳定运行。
7.多晶硅副产物综合回收技术
将副产品SiCl4等转化为气相SiO2，SiCl4处理能力6000吨/年以上，气相SiO22000吨/年，正在实施过程中。
8.超高纯硅材料后处理
已研发和正在研发的技术覆盖多晶硅生产全过程，形成多晶硅大规模、低单耗、高品质、清洁生产的技术体系。
中硅高科建有两个多晶硅生产厂(偃师工厂、洛阳工厂)和一个省级多晶硅工程技术研发中心。中硅高科产业化发展理念是：安全、环保、长治久安，产量、质量、达产达标，节能、降耗、良好效益，使用、操作、维护方便。
2006年，中硅高科的多晶硅产量为187吨，占全国总产量的65%，2007年，多晶硅产量506吨，占全国总产量的45%，连续两年位居全国首位。预计2008年多晶硅产量1000吨，产量进入世界大厂行列。
目前，中硅高科生产的多晶硅部分产品已达到：P型电阻率3000Ω·cm-4800Ω·cm，N型电阻率300Ω·cm-480Ω·cm，少子寿命300μs-1250μs，质量稳定。
中硅高科多晶硅产业规划分5期建设。一期：年产多晶硅300吨项目，2005年建成，已达产达标，该项目是国家发改委2005年重点行业结构调整支持项目；二期：年产多晶硅700吨项目，2007年建成，已稳定生产，该项目是国家发改委2006年新能源等高技术产业化专项支持项目。以上两个项目多晶硅副产物综合利用生产2000吨/年气相二氧化硅项目正在实施过程中。三期：年产多晶硅2000吨项目，2008年建成，已稳定生产，此项目是国家发改委2007年支持高纯硅材料等高技术产业化专项；四期：年产多晶硅2000吨项目，主体结构工程已封顶，预计2009年建成投产；五期：年产多晶硅2000吨项目将于2010年建成。总规模：合成三氯氢硅1万吨/年，多晶硅8000吨/年，气相二氧化硅4000吨/年，单条生产线达到国际公认经济规模。
中硅高科建立了国内首个多晶硅企业工程技术研究中心，国内首个省级多晶硅工程技术中心，已运行两年。中硅高科现针对多晶硅生产各主要环节建立6个研究平台和1个检测中心，解决了制约多晶硅材料大规模、低单耗、高品质、清洁生产的技术瓶颈，坚持“产学研”结合，培养、凝聚研发人才，形成持续研发能力。检测中心建设采用国际多晶硅检测标准与方法，配备国际先进水平的检测仪器，面向我国多晶硅全行业，服务全行业。
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自主研发的多晶硅生产技术
中硅高科采用的是“物料内部循环、能量综合利用”工艺，从根本上解决环境污染问题，实现清洁生产。
中硅高科采用“物料闭路循环、能量综合利用”的方法生产多晶硅。中硅高科自主研发技术，包括：大型还原炉、氢化和尾气干法回收技术为核心的产业化集成工艺、成套设备和全自动控制系统。
主要包括如下内容：
1.12对棒节能型多晶硅还原炉技术
单炉产量1400kg，电耗<200kWh/kg，2004年研究成功，已用于300吨/年试验线，全自动控制，已稳定生产。
2.24对棒大型节能多晶硅还原炉
单炉产量4000kg，电耗160kWh/kg，2007年3月鉴定，已用于700吨/年项目，全自控，稳产。
3.大型高效加压还原技术
单炉产量5000kg，电耗100kWh/kg～120kWh/kg，加压操作，全自动控制。设备已安装在三期工程中，正在运行考核。
4.大型低温加压SiCl4氢化技术转化副产物SiCl4，处理能力5000kg/h以上，在运行考核中。
5.大型SiHCl3合成、提纯工艺合成设备单套能力5000吨以上、产物加压分离、尾气干法回收；SiHCl3提纯采用大型加压、高温、高效提纯塔，满足电子级高纯硅用原料，在运行考核中。
6.大型全自控还原尾气干法回收技术
尾气处理能力7200m3/h以上，各组分回收率达到98%以上，已稳定运行。
7.多晶硅副产物综合回收技术
将副产品SiCl4等转化为气相SiO2，SiCl4处理能力6000吨/年以上，气相SiO22000吨/年，正在实施过程中。
8.超高纯硅材料后处理
已研发和正在研发的技术覆盖多晶硅生产全过程，形成多晶硅大规模、低单耗、高品质、清洁生产的技术体系。
