微纳技术概念的提出及应用领域

    纳米技术（Nanotechnology）,也称毫微技术，是研究结构尺寸在0.1至100纳米范围内材料的性质和应用。纳米技术一般指纳米级(0.1一100nm)的材料、设计、制造，测量、控制和产品的技术。主要包括：纳米级测量技术；纳米级表层物理力学性能的检测技术；纳米级加工技术；纳米粒子的制备技术；纳米材料；纳米生物学技术；纳米组装技术等。

    而微纳制造是指特征尺寸在100nm到100um之间的微纳米功能材料（器件）领域的制造。制造业的发展对加工精度提出了越来越高的要求，传统机床的加工精度已经远远不能满足飞速发展的消费及军工领域的要求，如电子硅芯片、大规模集成电路，以及对表面粗糙度要求很高的液晶面板等，于是，人们把眼光投入到精度更高的加工技术上，从最初的毫米级，到微米级(千分之一毫米)，到纳米级(千分之一微米)，于是，“微纳技术”这一概念就应运而生了。

    微纳技术在二十多年的发展过程中，从刚开始的单纯理论性质的基础研究衍生出了许多细分，如微纳级精度和表面形貌的测量，微纳级表层物化性能的检测，微纳级精度的加工等；另一方面，微纳技术的应用领域也得到了很大拓展。目前已被广泛应用于国防军工和民用产品。中企顾问网调查显示最主要的应用如纳米级机械加工、电子束和离子束加工、LIGA技术、扫描隧道显微加工技术等。

相关行业研究报告请见：
《2012-2016年中国航空制造市场调研与投资战略研究报告》